常用真空系統(tǒng)在真空電子器件中的運(yùn)用
2012-06-21
常用真空系統(tǒng)在真空電子器件中的運(yùn)用
真空電子器件生產(chǎn)中應(yīng)用的真空系統(tǒng)種類繁多。這里將根據(jù)真空系統(tǒng)的工作壓強(qiáng)范圍,介紹一些典型結(jié)構(gòu)的常用的真空系統(tǒng)。
中、低真空系統(tǒng)是能獲得10-3托以下真空度的系統(tǒng),以旋片泵或吸附泵等為主泵,配以真空閥門、捕集器及管道等連接而成。這樣組成的系統(tǒng)抽速一般較小,如要提高抽速可選用滑閥真空泵或羅茨泵機(jī)組。中、低真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、排氣量大,主要用在各類電子管的預(yù)排,白熾燈與熒光燈的排氣,真空儲(chǔ)存柜和離子戮射鍍膜機(jī)等裝置中。
中、低真空系統(tǒng)的真空度可用火花檢測(cè)器或放電管指示器來(lái)估計(jì),也可用熱傳導(dǎo)真空計(jì)來(lái)測(cè)量。為了提高系統(tǒng)的工作真空度,減少旋片泵油蒸氣和系統(tǒng)中水蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的影響,在三通玻璃活塞上,側(cè)接一只外冷式液氮冷阱。帶液氮冷阱的真空系統(tǒng)工作真空度可以達(dá)到10-3托左右。若該系統(tǒng)要反復(fù)暴露大氣,采用活性氧化鋁擋油阱同樣能達(dá)到上述目的,不過(guò)活性氧化鋁要定期激活。
上海帕特泵業(yè)制造有限公司
2012年06月21日 星期四
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